前沿导读

据《日经中文网》新闻指出，在上个月结束的上海半导体展会当中，许多中国芯片设备厂商纷纷发布了自家新产品以及未来的技术规划。
并且多位中国半导体产业领军人也提出了新时期的产业发展目标，力争到十五五结束的2030年，将国内半导体产业的自给率提升至80%，针对电路线宽为7nm的芯片，建设全部采用国产设备制造的生产线并且进行试运行，同时还要实现14nm芯片产业链的国产化稳定运行。

在被美国卡脖子严重的EUV光刻机领域，也要实现技术进步，联合所有力量组建属于中国的ASML公司，解决国产先进光刻机的量产制造问题，全力以赴在芯片产业上追赶海外强国的脚步。
参考资料：
中国半导体自给率能实现80%吗？https://mp.weixin.qq.com/s/f0YNg1qP6n62PgTB_DfgLQ
提升自给率

每年一届的上海半导体展会，是全中国规模最大、参展数量最多、入场观众最多的半导体产业盛会。每当展会开始，各大参展企业均会将自家最先进的设备以及最丰富的产品线以微观模型或者宣传画册的方式呈献给参展观众。
在超过10万平方米的展会面积当中，人流量较大、关注度较高、往来观众数量较多的展台就是中国本土企业的展台。
北方华创、中微公司、上海微电子&芯上微装、盛美半导体等国产设备厂商纷纷将自家公司所制造的部分设备以等比例缩小的微观模型方式呈现在观众面前。甚至上海微电子、芯上微装等中国光刻机企业也将国产光刻机的模型搬到了展台上面。


各大企业在上海半导体展会当中展出设备，最大的意义就是可以让观众或者从业者清晰了解中国半导体自主设备的发展情况，让大家对于中国芯片产业自主技术的发展有一个较为清晰的认知。
作为中国刻蚀机设备领军企业的中微公司，其公司创始人尹志尧先生在接受媒体采访时指出，工欲善其事必先利其器，中微公司坚持自主技术研发，不去复制国际层面已有的技术设备，走纯国产技术的路线，并且利用自主知识产权对自家的技术设备形成保护壁垒。
中微公司所制造的半导体设备已经超过了30种款式，覆盖CCP刻蚀设备、ICP刻蚀设备、CDP设备、EPI设备（外延沉积）以及MOCVD设备（气相沉积）。并且所有设备均为自主技术研发，受到自主知识产权的国际法律保护。

截止2025年，中微公司支持5nm节点的刻蚀机已经累计出货超2000腔，是中国半导体产业已量产阶段最先进的制造设备。并且公司创始人尹志尧先生表示，中微公司将会通过自主技术研发以及并购的方式，在5至10年后将自家公司所能提供的高性能设备比例提高至60%以上。
刻蚀机与沉积设备在半导体设备市场中占据大约22%的市场份额，这个份额要比光刻设备还要高出5个百分点。

中微公司在尹志尧先生的领导下为中国半导体产业开了一个好头，拿下了自主刻蚀机以及沉积设备这些仅次于光刻机的高精度产品。
除中微公司之外，北方华创也是最受关注的设备厂商之一，同时也是中国北方地区规模最大、营收能力最强、发展势头最强劲的国产设备厂商。在2025年全球半导体设备市场规模排名当中，北方华创排名第7，是前10名当中唯一一个上榜的中国企业。

北方华创的产品线覆盖范围广泛，除了前端光刻机之外，几乎涉及了后续所有制造设备，刻蚀、沉积、热处理、外延、清洗等设备均有涉足。甚至中国半导体产业此前较为落后，高度依赖于美国应用材料的离子注入设备，北方华创也在2025年宣布旗下首款离子注入设备研发完成，开始进入市场化阶段。

北方华创董事长赵晋荣先生对媒体指出，要始终将客户的需求放在首位，通过与供应链伙伴的紧密协作，将客户需求有效传递至供应链的每个环节。赵董这种注重客户服务的理念，也是北方华创能持续爆发出顽强生命力的核心力量。
此前国产制造设备较为落后，很大原因是因为国外的技术设备成熟，许多本土企业考虑经济因素选择使用海外的制造设备，这导致国产设备缺乏市场空间，进而无法持续性优化产品，时间长了就变得越来越落后。

想要提升国产设备的技术水平，拥有与海外设备竞争的机会，首先需要将设备用起来，然后在使用的过程中一点点解决问题以提升国产设备的技术水平，从而在后续的发展中开发出足以替代进口设备的国产设备。
纯国产供应链

2026年2月13日，由北方华创董事长赵晋荣、长江存储董事长&中国半导体行业协会第八届理事长陈南翔、清华大学微电子研究所教授魏少军、中芯国际联合创始人王阳元、华大九天董事长刘伟平等人在内的13位中国半导体产业专家学者联合撰写了《构建自主可控的集成电路产业体系》报告。

各位企业领导以及相关学者在报告中提议，十五五期间要继续推动中国半导体产业实现自主技术的快速发展，大力度解决卡脖子的困境。联合国内的技术力量组建类似于荷兰ASML一样的公司，去解决国产先进光刻机的量产问题。
然后依靠自主可控的国产设备，先将14nm产业链实现纯国产化稳定制造，随后向7nm等先进技术节点发起自主产业链攻关，力争在2030年实现纯国产7nm生产线的试运行，同时将国内半导体的整体提给率提升至80%。

美国国际商务战略公司对此分析称，根据中国设备企业在中国市场的供货额进行推算，中国半导体产业在2024年的自给率为33%。想要实现规划的目标，必须要面临的问题是如何提升中国国产光刻机的技术竞争力。
在2026年上海半导体展会中，尼康、佳能、ASML这三家光刻机企业均进行了参展。
ASML在展会当中只有一个非常简单的宣传展台，而尼康和佳能则是在展台当中表示要深耕中国市场，甚至尼康还针对中国市场推出了特殊扶持政策，其中包括销售二手光刻机、提供翻新服务、提供技术维护、提供安装移机服务等行动，并且尼康在展会中还强调要依靠中国市场重返产业巅峰。


在面对自主技术难题与日本企业的技术“诱惑”时，中国企业需要付出更多的努力、下更大的决心朝着自主可控的产业目标前进。