来源：市场资讯（来源：半导体前沿）-来自彤程，龙图光罩，SEMI，复旦大学，南开大学，暨南大学，苏州实验室，上海光源，欣奕华，中电科48所，安捷伦，湖北菲利华，新维度微纳，四川大学，优尼康等单位的专家将作精彩报告-第3届光掩模与光刻胶技术论坛将于2026年4月24日在上海召开光掩模版是光学、半导体等行业的核心材料，其性能直接影响下游产品质量。作为光刻工艺的关键载体，光掩模版广泛应用于集成电路（IC）、平板显示器（FPD）、印刷电路板（PCB）、微机电系统（MEMS）等领域。而光掩模基板（又称空白掩膜板）作为光刻成图前的原始材料，是光掩模版的基础载体，其主要由玻璃层、膜层和胶层组成，其中玻璃基板和膜层是决定产品性能的核心要素，其制备流程为：在洁净的石英或玻璃衬底上，通过磁控溅射形成100-200nm的铬膜（或钼硅膜与铬膜）坯料，再涂布400-1000nm的光刻胶。光掩模基板的玻璃基板主要采用石英玻璃和钠钙玻璃，二者均具备高光学透过率、低热膨胀率和优良光谱特性，适用于高精度光掩模基板制造。其中，石英玻璃凭借纯度高、化学稳定性强、透光性优异等特点，成为IC用光掩模等高端领域的首选材料；钠钙玻璃则更多应用于中低端场景。值得注意的是，光刻级石英材料对性能要求极为苛刻，仅光学均匀性就需控制在1.0×10-6（cm/cm）以内，这对石英锭熔制、加工等各个环节都提出了极高标准。作为光掩模基板用石英玻璃的核心环节，石英锭的制备工艺主要分为熔炼石英玻璃与合成石英玻璃两类：熔炼石英玻璃以电熔工艺和气炼工艺为主；合成石英玻璃则包括化学气相沉积（CVD）、等离子化学气相沉积（PCVD）、间接合成法等。其中，以合成石英制成光掩模石英玻璃基板的工艺尤为复杂，以应用广泛的化学气相沉积法（CVD）为例，需以SiCl4为原料，在氢氧焰中高温水解生成SiO2微粒，经沉积熔化形成高纯石英锭，再通过切割、热加工（成型为石英板）、冷加工（切割、开方、倒角、磨抛等），最终制成光掩模石英玻璃基板。光掩模石英玻璃基板的制造除基板材料本身的制备工艺外，膜层形成过程中产生的针孔缺陷也是掩膜基板的主要不良来源之一，超过40%的基板不良率与针孔直接相关。针孔会造成膜层漏光，在曝光显影时引发线条钻蚀、凹陷、锯齿等问题，严重影响产品良率，因此，针孔缺陷控制也是光掩模基板制造过程中的关键技术难点。第3届光掩模与光刻胶技术论坛将于2026年4月24日在上海召开。届时，湖北菲利华石英玻璃股份有限公司樊明轩博士将作《光掩模基板用石英玻璃的制造工艺》的报告。—论坛信息—名称：第3届光掩模与光刻胶技术论坛时间：2026年4月24日地点：上海主办方：亚化咨询—会议背景—随着半导体工艺节点向2nm及以下推进，下一代光刻技术已成为行业焦点。主要方向包括高数值孔径极紫外（High-NA EUV）光刻、纳米压印光刻、电子束光刻、定向自组装（DSA）和X射线光刻等。这些技术旨在提升分辨率、降低成本并提高产量。2026年，高NA EUV已进入高容量制造阶段，而NIL和X射线光刻作为潜在颠覆者，正加速研发。进入2026年，中国对高端光掩模的需求持续强劲增长，但技术研发、生产能力及产业链整合方面仍面临高成本、技术复杂性和供应链依赖等诸多挑战。全球半导体光掩模版市场在2018年至2024年间从40.4亿美元增长至51亿美元，年复合增长率达4.0%。预计到2030年，该市场规模将进一步扩大至约80亿美元。亚化咨询研究认为我国2025年第三方掩模版市场规模占比为70%左右，预计2030年中国掩模版市场规模有望达到120亿元。全球光掩模版市场主要由Photronics、日本凸版(Toppan)和大日本印刷(DNP)三大企业主导，市场占有率超过70%。而在中国市场，路维光电、清溢光电、龙图光罩等本土企业正在不断提升其市场竞争力，并在国产化替代方面取得突破。亚化咨询预计2026年市场规模有望达到100亿元。在ArF光刻胶领域，国内厂商正在加快研发进程，并取得了核心突破，如南大光电实现ArF光刻胶量产。国内一些光刻胶龙头企业如上海新阳、南大光电、容大感光、广信材料、晶瑞电材等，在光刻胶的研发和生产方面取得了显著进展。据亚化咨询最新行业调研，国内领先的光刻胶新锐企业还包括珠海基石(2022年成立)、国科天骥(2019年成立)等。国内光掩模与光刻胶产业发展正在提速，技术进步成为产业发展的重要推动力。第3届光掩模与光刻胶技术论坛将于2026年4月24日在上海召开。本次论坛由亚化咨询主办。此次会议将汇聚行业的领军企业、机构的专家，探讨下一代光刻技术发展方向，中国光掩模版与光刻胶产业的技术进展与应用，市场机遇与挑战，和产业发展前景。—会议主题—展位火热预订中！会场外特设精品展位，现面向优质供应商开放合作，助您精准链接行业核心资源与客群。合作形式多元灵活，包括：企业主题演讲、联合主办、晚宴赞助、广告宣传、茶歇赞助、礼品赞助等多种形式，全面覆盖会议各环节宣传场景。